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锦正茂高低温真空磁场探针台

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产品名称: 锦正茂高低温真空磁场探针台
产品型号: T8-EM4
产品展商: 锦正仪器
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简单介绍

锦正茂高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台,它的诸多设计都是专用的。因此,高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如,要求的磁场值,均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等,均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联;位移台还可与磁流体密封搭配,实现水平方向二维移动和样品台360度转动;除此之外,该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户,可以磁场的高稳定性。因此,该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。


锦正茂高低温真空磁场探针台  的详细介绍
高低温真空磁场探针台
 
产品概述:

锦正茂高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台,它的诸多设计都是专用的。因此,高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如,要求的磁场值,均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等,均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联;位移台还可与磁流体密封搭配,实现水平方向二维移动和样品台360度转动;除此之外,该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户,可以磁场的高稳定性。因此,该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。

锦正茂高低温真空磁场探针台探针台配备4个(可选6个或8个)拥有高精度位移的探针臂,同时配有高精度电子显微镜,便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号,用来测试芯片、晶圆片、封装器件等,广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。

 

应用范围:

磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试,微电子机械系统,超导电性测试,纳米电路的光电属性,量子点和线,高低温真空环境下的芯片测试,材料测试,霍尔测试,电磁输运特性等。

 

可选附件:

þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线

þ CCDC-MOS视频成像装置

þ Chuck运动装置

þ 电磁铁系统/超导磁铁系统

þ 1Mpa正压系统升级

þ 超高温升级选件

þ 超高真空升级选件

þ 各类探针夹具

þ 屏蔽箱

þ 防振桌

þ 转接头

þ 静音真空泵


技术指标:

高低温真空磁场探针台

型号

T8-EM4

T8-EM5

T8-EM7

真空度

真空上高达10-8Pa

腔体材质

无磁不锈钢或者铝合金

磁场范围

2000Gs @50mm

5000Gs@50mm

1T@50mm

磁场方向

水平(可按用户要求设计成竖直方向的)

配套电源

双极性电源±50A

双极性电源±70A

双极性电源±90A

电源稳定性

50ppm(可选10ppm

制冷方式

液氦/液氮制冷/闭循环制冷机

温度范围

5K-325K可选500K

控温分辨率

0.001K控温仪相关

温度稳定性

优于0.1K依赖于控温仪

温度传感器

硅二极管/PT100/CernoxTM

传感器数量

样品台、防辐射屏、探针臂各一个

样品台尺寸(max

Φ50mm,平整度≤7μm

样品台固定方式

真空硅脂/弹簧压片

样品台材质

镀金无氧铜

显微镜行程

XY平面2*2inch,精度1μmZ轴行程≥50.8mm

放大倍数

16~100X/20~4000X

真空腔观察窗尺寸

1inch

1.5inch

2inch

窗口材料

熔融石英(可选K9、氟化钙等)

探针臂数量

2468可选

探针臂行程

(X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更换

位移精度

10μm /2μm/1μm/0.7μm可选

接口形式

普通真空接头/三同轴接头/BNC/SMA

探针直径

0.51mm

针尖直径

10μm/5μm/1μm可选

探针材料

/GGB

供电电压

AC220V 50Hz/60Hz

AC380V 50Hz/60Hz

注:北京锦正茂科技有限公司接受任何形式的定制,精度高,周期短




 

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